Technische Details des Projektes

Eine Besonderheit des Projektes lag darin, dass in den ALD Anlagen von Beneq Oy sowohl Single-Wafer-Prozesse als auch Batch-Prozesse ablaufen können. Als universelles Framework für die Anlagensteuerung unterstützt der ToolCommander^® verschiedenen Systeme – darunter auch Batch-, Cluster- und Inline-Systeme. Die bestehenden Funktionen sowie die Benutzeroberfläche des ToolCommander^® dienten so als Grundlage für die Integration der Beneq Oy Beckhoff-SPS zur Steuerung der ALD-Prozesse.

Für die Kommunikation zwischen dem ToolComander® und der Beckhoff-SPS kam das Beckhoff TwinCAT-Protokoll zum Einsatz. Durch Verwendung einer dezentralen I/O-Station sowie diverser TCP/IP-Schnittstellen erfolgte eine direkte Ansteuerung von Komponenten wie beispielsweise der Load Locks oder des Pumpstandes.

Für die vertikale Hostintegration definierte der chinesische Endkunde ein eigenes Schnittstellenprotokoll, das den SECS/GEM-Standards ähnelte, aber auch kundenspezifische Funktionen beinhaltete. Auf dieser Basis entwickelten die susietec® Experten einen zusätzlichen Adapter. Die horizontale Integration in den Hauptcluster wurde durch eine CC-Link-Schnittstelle realisiert.

Customer Benefits

Der erste Projektabschnitt war eine Spezifikation der Anlagensteuerung, die in enger Zusammenarbeit mit Beneq Oy erfolgte. Als Teil dieses Spezifikationsprozesses wurden auch die verschiedene Testszenarien definiert.

Vor der Lieferung erfolgte ein Inhouse-Test unter Nutzung der Simulationsmöglichkeiten des ToolCommander^®. Auch hier fand ein regelmäßiger Austausch mit den Entwicklern von Beneq Oy statt. Etwa sechs Monate nach Projektbeginn wurde das System nach China verschifft und vor Ort in Betrieb genommen.